案例介紹

科技公司從事光刻膠原材料的研發(fā)試驗(yàn)，其核心工藝涉及反應(yīng)罐的真空環(huán)境控制。反應(yīng)罐在抽真空過程中，空氣中的水汽可能進(jìn)入真空泵，導(dǎo)致泵體腐蝕或性能下降。

該工藝的控溫對(duì)象為反應(yīng)罐抽出的氣體，要求將氣體溫度快速降至-20℃，確保水汽充分冷凝。由于試驗(yàn)涉及有機(jī)溶劑，設(shè)備需滿足防爆要求（BT4等級(jí)），同時(shí)具備穩(wěn)定的制冷和加熱能力，以適應(yīng)工藝中的溫度變化需求。

針對(duì)這一需求，實(shí)驗(yàn)室選用了防爆型冷熱循環(huán)一體機(jī)，溫度范圍為-20℃~30℃。設(shè)備采用風(fēng)冷壓縮機(jī)組搭配電加熱，載冷劑為乙二醇水溶液，通過內(nèi)置冷凝器（4㎡換熱面積）將抽出的氣體冷卻至-20℃。

冷凝后的水汽收集至30L的儲(chǔ)液箱，并實(shí)現(xiàn)抽真空后的自動(dòng)排水。這一方案有效避免了水汽對(duì)真空泵的損害，同時(shí)防爆設(shè)計(jì)確保了有機(jī)溶劑環(huán)境下的操作安全。